Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie ist eine sehr komplexe Anwendung. Hier kommen verschiedene Bereiche zusammen. Zum einen werden in diesem Bereich sehr unterschiedliche Gasarten eingesetzt, für welche es teilweise keine Gaswarnsensoren gibt, zum anderen liegt oft eine Mischung aus Industrie-Fertigung und Einzelproduktion im Reinraum vor – das macht besondere Lösungsansätze erforderlich. Meist geht es in der Halbleiterindustrie auch nicht um einzelne Messstellen oder Gaswarnanlagen, sondern um viele, was ebenfalls gänzlich andere Anforderungen mit sich bringt. Sehr spannend ist ebenfalls der stetige Wandel, welcher es erforderlich macht immer wieder neue Gasarten mit einzubinden und Lösungen dafür zu finden. Gerne stehen wir auch Ihnen für Ihre Anwendung beratend zur Verfügung.

Typische Gase: Alle, besonders NH3, NF3, SF6, C2F6, CHF3, CH4, SiH4, CO, He, Ar, SiF4, CF4
Weiterführende Beiträge: 1, 2

Referenzen:

• RF360 / Qualcomm
• Aixtron